無塵車間凈化措施:深圳半導體、集成電路生產的潔凈室要求

 xinwen   2020-02-21 16:14   72 人閱讀  0 條評論

關于無塵車間凈化措施內容如下:

半導體材料提純作為發展半導體器件的重要基礎。由于大規模和超大規模集成電路的工藝要求,為得到高純度的硅材料,原料和中間媒介的高純度和生產環境的潔凈度成為影響產品質量的一個突出問題。

深圳半導體、集成電路生產的潔凈室要求

集成電路芯片的成品率與芯片的缺陷密度有關,而芯片的缺陷密度與空氣中粒子個數有關。因此,集成電路的高速發展,不僅對空氣中控制粒子的尺寸有極高的要求,而且也需進一步控制粒子數;同時,對于超大規模集成電路生產環境的化學污染控制也有相關的要求。

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