無塵車間裝修說明:天馬無塵室凈化空調系統試題

 xinwen   2020-02-23 16:27   122 人閱讀  0 條評論

關于無塵車間裝修說明內容如下:

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一、選擇題(每題2分)

1、下面哪項不是無塵室需要控制的參數( C)

A、微粒子 B、氣流 C、采光 D、壓力

2、F1無塵室需要控制的溫、濕度是(B)

A、22℃±1℃55%±10% B、23℃±1℃50%±5% C、23℃±2℃55%±5% D、22℃±2℃60%±10%

3、F1無塵室最高潔凈等級(A)

A、10 B、100 C、1000 D、1

4、通過下列調節不能改變無塵室壓力的是(D)

A、MAU B、排氣 C、FFU D、CDA

5、F1 MAU單臺風量是(B)

A、90000CMH B、100000CMH C、120000CMH D、130000CMH

6、關于無塵室下列說法錯誤的是(CD)

A、潔凈度要求等級越高,分布的FFU越多

B、溫度和濕度控制不當都會影響生產

C、MAU主要是控制無塵室的溫度

D、干盤管在任何情況下是不會產生冷凝水的

7、模組無塵室2樓內的熱負荷主要是靠(C)承擔

A、MAU B、RCU C、DCC D、FFU

8、F2無塵室最高潔凈等級(C)

A、10

B、100

C、1000

D、1萬

9、F2無塵室的正壓應比F1(C)

A、相等 B、大 C、小 D、可大可小

10、1000級無塵室控制微粒的粒徑是(C)

A、0.1μm以上 B、0.3μm以上 C、0.5μm以上 D、5μm以上

二、問答題(每題20分)

1.請描述MAU空調箱的各個組成部分及功能。

預冷(降低焓值)-預熱(提高焓值)-初中效(過濾大顆粒)-加濕段-風機段-均流孔板段-高效過濾器。

2、簡述無塵室的氣密性不好會有哪些危害?(兩條即可)

外氣帶來塵埃,溫濕度失控

3.簡述面板廠無塵室溫濕度及潔凈度控制設備有哪些?

MAU:控制濕度,DCC控制溫度,FFU控制潔凈度。

三、故障分析題(每題10分)

1、CVD工程師致電FMCS,指出在潔凈度測試的時候潔凈度超標,請給出應急措施及解決方案。

馬上聯系無塵室責任工程師,并且安排復測,同時通知CVD對該區域進行清潔,如果復測仍然不合格,則對區域的FFU進行測試更換。

2、XRD工程師致電FMCS,指出XRD區域濕度低于50%,請給出應急措施及解決方案。

立即查看MAU空調箱運行狀態,然后觀察出風露點,如果偏低則確認熱水系統是否正常,如果熱水系統正常,則需要對溫濕度探頭進行校正。

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