凈化工程無塵車間公司:談談我國凈化工程有哪些需求與使用間的范圍

 xinwen   2020-02-13 12:45   67 人閱讀  0 條評論

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潔凈室屬于凈化工程的范圍,通過設備和設施對某些特定空間進行:溫度、濕度、風量、壓差、潔凈度、沉降菌、浮游菌等項目的調整控制,使其滿足一定的標準的工程 .如樓主的潔凈室有前敘要求即為凈化工程。

凈化工程在規定的空間范圍內,將空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除,并將室內溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內的工程學科。凈化工程所特別設計的房間,不論外在空氣條件如何變化,室內均具有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能。這比用紊流來描述亂流潔凈室更確切、更全面。

具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,凈化工程但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。

例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產品將有污染,凈化工程特別是怕鈉的半導體車間,這種車間溫度不要超出25度。

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